潔凈室是指對(dui)空氣潔凈(jing)度、溫度、濕度、壓力、噪(zao)聲等參(can)數根據需要都進(jin)行控制的(de)(de)密(mi)閉性較好的(de)(de)空間。潔凈(jing)室的(de)(de)發(fa)展(zhan)與現代工(gong)(gong)業(ye)、尖端技術密(mi)切聯(lian)系(xi)在一起。由(you)于精(jing)密(mi)機械工(gong)(gong)業(ye)（如(ru)陀螺儀、微型軸承(cheng)等加工(gong)(gong)）、半導(dao)體工(gong)(gong)業(ye)（如(ru)大規模集(ji)成電(dian)路生(sheng)產(chan)）等對(dui)環(huan)境(jing)的(de)(de)要求，促進(jin)了潔凈(jing)室技術的(de)(de)發(fa)展(zhan)。國內曾(ceng)統計過，在無潔凈(jing)級別的(de)(de)要求的(de)(de)環(huan)境(jing)下(xia)生(sheng)產(chan)MOS電(dian)路管芯的(de)(de)合格率僅10%~15%，64為儲存器僅2%。目前(qian)在精(jing)密(mi)機械、半導(dao)體、宇航、原子能等工(gong)(gong)業(ye)中應用潔凈(jing)室已相當普遍。

一、潔凈室的分類

1、按氣流的流動狀態分
根據氣流的流動狀態分，主要有以下三種氣流分布的潔凈室 [1] ：
（1） 非單向流潔凈室：以前常稱為亂流型潔凈室，室內的氣流并不都按單一方向流動。非單向流潔凈室有幾個共同的特點：終端過濾器（高效或亞高效）盡量接近潔凈室，它可以就是送風口或直接連送風口，也可以接到房間的送風靜壓箱上；回風口均設在潔凈室的下部，目的是避免出現“揚灰”現象。非單向流潔凈室中都有渦流存在，不適宜用于高潔凈度的潔凈室中，宜用于6~9級的潔凈室中。
（2） 單向流潔凈室：單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動，并且在斷截面上風速一致，有垂直單向潔凈室，準垂直單向流，水平單向流潔凈室等。
（3） 矢量潔凈室：在房間的側上角送風，采用扇形高效過濾器，也可以用普通高效過濾器配扇形送風口，在另一側的下部設回風口，房間的高長比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達到5級（100級）潔凈度。
潔(jie)凈(jing)室(shi)的(de)流(liu)(liu)型(xing)基本(ben)上是(shi)上述三(san)種類型(xing)，但是(shi)實(shi)際應用時可演(yan)變出(chu)很多形(xing)式。潔(jie)凈(jing)室(shi)可以(yi)是(shi)單(dan)向(xiang)流(liu)(liu)和非單(dan)向(xiang)流(liu)(liu)組合在一起的(de)混合流(liu)(liu)型(xing)，以(yi)在局部(bu)(bu)區域（單(dan)向(xiang)流(liu)(liu)部(bu)(bu)分）實(shi)現高級別的(de)潔(jie)凈(jing)室(shi)。例如，在潔(jie)凈(jing)室(shi)中設(she)(she)水平單(dan)向(xiang)流(liu)(liu)的(de)“隧(sui)道”（一側敞開），潔(jie)凈(jing)室(shi)的(de)其余部(bu)(bu)分是(shi)渦流(liu)(liu)的(de)單(dan)向(xiang)流(liu)(liu)流(liu)(liu)型(xing)，從而實(shi)現“隧(sui)道”部(bu)(bu)分達到5級以(yi)上潔(jie)凈(jing)度，工作臺就設(she)(she)在“隧(sui)道內(nei)”。

2、按受控粒子的性質劃分
（1）工業潔凈室：受控粒子為塵埃等非生物粒子的潔凈室。
（2）生物潔(jie)凈(jing)室(shi)：受控(kong)粒子(zi)(zi)為生物粒子(zi)(zi)的潔(jie)凈(jing)室(shi)。

二、潔凈室設計要求

（1） 潔凈環境是為生產工藝服務的，潔凈室設計必須滿足生產工藝的環境要求，這是理所當然的。因此，在潔凈室設計時生產工藝對環境參數的要求應該實事求是，其面積、層高，溫度、濕度，潔凈度等應該該高則高，該低則低，并非越高越好。在不影響生產工藝正常運行的前提下盡可能地降低參數要求，控制凈化面積，縮小高凈化級別潔凈區的范圍，嚴格控制100級和更高級別單向流潔凈區的面積。
（2）在(zai)生(sheng)產(chan)工藝(yi)平(ping)面區劃時盡(jin)可(ke)能(neng)把(ba)相同級(ji)別(bie)的潔(jie)凈房間布置(zhi)在(zai)一起，把(ba)潔(jie)凈度要(yao)求高的工序設置(zhi)在(zai)上(shang)風側，把(ba)產(chan)生(sheng)粉灰、有毒、有害(hai)、易(yi)燃、易(yi)爆(bao)廢氣的工藝(yi)設備、容器盡(jin)可(ke)能(neng)放(fang)在(zai)潔(jie)凈區外，若必須放(fang)在(zai)潔(jie)凈區內時應盡(jin)量(liang)采取密閉措施以減少(shao)粉塵和廢氣的排放(fang)量(liang)。

三、潔凈室設計原則

（1） 當產品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當產品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。
（2） 減少渦流，避免把工作區以外的污染物帶入工作區。
（3） 為了防止灰塵的二次飛揚，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風口不應設在工作區的上部。宜在地板上或側墻下部均勻布置回風口。
（4） 工作區的氣流應均勻，流速必須滿足工藝和衛生的要求；潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來，使污染物在擴散之前便流向回風口。
（5） 工作設備布置時要留有一定的間隔，為送、回風口的布置和氣流的通暢創造條件：氣流組織設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。
（6） 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內。當布置在亂流潔凈室時，宜將其置于工作區氣流的上風側，以提高室內的空氣潔凈度。
（7） 潔凈室內有通風柜時，宜置于工作區氣(qi)流的下(xia)風側，以減少(shao)對室內(nei)的污染。

四、潔凈室施工注意事項

1、潔凈室的建(jian)筑圍護(hu)結構和(he)裝修(xiu)材料須選用氣(qi)密性良好，且不易發生形變的材料。

2、潔凈室內壁的表面(mian)要光滑、平整(zheng)、不起塵、避免眩光、減少凹凸面(mian)。便于除塵。

3、潔凈(jing)室地面應平整(zheng)，耐(nai)磨、易(yi)清洗，不易(yi)積聚(ju)靜電(dian)，避免眩光，不開裂等。潔凈(jing)室內的色(se)彩宜(yi)淡雅柔(rou)和。

4、已完成的裝飾工程表面，不得撞擊、敲打、踩(cai)踏，多水作業造成板材(cai)凹陷，暗裂和表面污染。

5、潔凈(jing)室臨時設置(zhi)的設備(bei)入口不用時應封(feng)閉，防止塵土雜物進入。

6、潔凈(jing)(jing)室(shi)和人員凈(jing)(jing)化用(yong)室(shi)設(she)(she)置外窗(chuang)(chuang)時，用(yong)雙層玻璃固(gu)定窗(chuang)(chuang)，保持良好的氣密性(xing)。臨(lin)近潔凈(jing)(jing)室(shi)室(shi)內的側窗(chuang)(chuang)不(bu)宜設(she)(she)窗(chuang)(chuang)臺(tai)。

7、潔凈室不宜采(cai)用砌筑墻抹灰(hui)墻面(mian)(mian)，當必須采(cai)用時宜干燥(zao)作業，抹灰(hui)應采(cai)用高(gao)級抹灰(hui)標準。墻面(mian)(mian)抹灰(hui)后(hou)應刷涂料面(mian)(mian)層，并應選用難燃、不開裂(lie)、耐清(qing)洗、表(biao)面(mian)(mian)光(guang)滑(hua)、不易吸(xi)水變質(zhi)發(fa)霉的(de)涂料。

8、在潔凈室裝修建(jian)筑裝飾施工過程中(zhong)，須(xu)隨時清掃(sao)灰(hui)塵(chen)，對隱蔽空(kong)間(如吊頂(ding)和夾(jia)墻內部(bu)等)，還應做好清掃(sao)記錄。

潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)的裝修(xiu)水準如何直接(jie)關系到潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)的使(shi)用效率和使(shi)用壽命，所以設(she)計(ji)施(shi)工(gong)在(zai)一定程度上(shang)也(ye)是衡量施(shi)工(gong)企業(ye)能力的一個指標。深圳潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)設(she)計(ji)施(shi)工(gong)認準華安實驗室(shi)(shi)，承接(jie)各行業(ye)潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)設(she)計(ji)施(shi)工(gong)，歡迎來(lai)電(dian)咨詢。